R&D Center
CRYO H&I is a manufacturer
specializing in high vacuum cryopump.
R&D Center
Cryo H&I 극저온 연구소는,
반도체 디스플레이 공정장비에 최적화된 크라이오 고진공펌프를 고도화 하고 있으며,
극저온 기술 을 활용한 에너지, 의료, 바이오, 초전도, 환경우주, 냉동/냉각분야의
다양한 application을 개발하고 있습니다.
Cryopump Design & Function Test
1. Simulation- VacTran / Monte-Carlo Program
2. Cryocooler 선정
3. Design/성능 신뢰성 테스트
R&D Center Organization
학회 활동
research equipment
- Cryocooler Test Station: 10
- Baseline Test Station: 4
- Reliability Test Station: 10
- TGA/FGA (가스분석기)
- Vibration measuring equipment
- Helium Leak Detector
- Data Acquisition
Patents & Certifications
기업부설연구소 인정서
신기술인증서
특허증 - 크라이오펌프의 베플 제조방법
특허증 - 크라이오제닉 워터펌프의 제어방법
특허증 - 크라이오펌프의 헬륨 압축기 유닛
특허증 - 진동 저감을 위한 댐핑 플랜지 조립체 및 이를 갖는 크라이오펌프
특허증 - 소음 및 진동 저감을 위한 극저온 냉동기 및 이를 갖는 크라이오펌프
특허증 - 극저온펌프의 1단 복사열 차폐체 제작방법
