Cold Trap이 용도에 따라서 Inline / Plate / Regen.Type의 생산이 가능하며 반도체 공정장비 성능향상 목적으로 Turbo Molecular Pump와 일체화하여 사용
※인치 별 라인업이 있습니다. 상세문의는 Cryo H&I 영업팀 문의 또는 홈페이지 문의폼을 통해 문의 부탁드립니다.

Pumping speed Water (ℓ/s) 29,000
Base pressure (Torr)
Cool down time (20K) Minute 120
Weight Weight (Kg) 88
Inlet flange size mm 500
Mounting flange JIS, DN

* All GENCRYO pumps required the following components:
Compressor, Helium hoses, electrical cables, heater cables, and power distribution box.



Type Cold Trap Size
Inline 200mm ∼ 800mm
Cold Plate Order Made
Regen 200mm ∼ 800mm