Cold Trap이 용도에 따라서 Inline / Plate / Regen.Type의 생산이 가능하며 반도체 공정장비 성능향상 목적으로 Turbo Molecular Pump와 일체화하여 사용
※인치 별 라인업이 있습니다. 상세문의는 Cryo H&I 영업팀 문의 또는 홈페이지 문의폼을 통해 문의 부탁드립니다.

Pumping speed Water (ℓ/s) 10,000
Base pressure (Torr)
Cool down time (20K) Minute 30
Weight Weight (Kg) 50
Inlet flange size mm 400
Mounting flange ANSI ASA, ANSI ASA Rotatable,
ISO Clamp, ISO Bolted, Con Flat,
Conflat Rotatable, JIS

* All GENCRYO pumps required the following components:
Compressor, Helium hoses, electrical cables, heater cables, and power distribution box.


Type Cold Trap Size
Inline 200mm ∼ 800mm
Cold Plate Order Made
Regen 200mm ∼ 800mm