Cryopump
CRYO H&I is a manufacturer
specializing in high vacuum cryopump.
Cryopump
- 크라이오는 극저온이라는 의미를 가졌으며, 기체분자를 차갑게 하여 운동에너지를 잃게 하고 펌프 내에 얼려 붙잡아 둔 뒤 제거하는 방식이다.
- 80K 유지되는 배플과 냉각 판에서 먼저 수분등이 흡착되고, 다음 20K의 냉각판에서는 아르곤, 질소, 산소 등이 흡착된다.
- 활성탄에서는 냉각 판에서 흡수되지 않은 수소나 헬륨 등의 기체가 흡착되어 제거된다.
형태에 따라 Horizontal, Vertical Type이 있으며,고객 맞춤형으로 구경 900mm 생산가능
- Semi-conductor, Display 산업용 다양한 Line-Up(6” ~ 35”)보유
- SPACE, 대형설비용 35인치 공급 중
Feature
Cryo Pump Pumping
기체 흡착/배기
Application
Vacuum coating
Space chamber
Sputtering
Encapsulation
Ion implantation
Particle accelerator
Nuclear fusion
