Cryogenic Tech
CRYO H&I is a manufacturer
specializing in high vacuum cryopump.
Cryogenics Technology

극저온은 통상 천연가스의 액화온도인 110K (-163℃)이하의 온도영역을 의미하며, 극저온 냉동/냉각 기술은 120K이하의 저온환경을 생성하고 유지하는 기술을 지칭한다.
극저온 냉동기술은 진공, 의료, 에너지, 바이오, 환경우주, 군사, 운송 등 산업계 전방에 활용되고 있다.

GM Cooler
gm-cooler

Cryo H&I의 핵심 보유기술 중의 하나라고 할 수 있는 G-M (Gifford-McMahon) 냉동기는 헬륨 (He) 가스의 압축 팽창과정에서 발생하는 온도 변화에 기반을 두고 있으며, 4K (-269℃)의 극저온까지 온도를 조절할 수 있으며 극저온 진공펌프 뿐만 아니라 극저온 냉동기술이 필요로 하는 다양한 분야에 응용이 가능하다.

CRYO PUMP의 원리
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Cryo 는 극저온이라는 의미를 가졌으며, Cryopump는 G-M 냉동기를 이용해 기체분자들이 냉동기에 의해 차가워진 내부 구조물에 충돌했을 때, 낮은 온도로 운동에너지를 잃게 함으로써 펌프 내에 얼려 붙잡아 두는 원리를 사용한다. 이렇게 공간 내의 공기분자를 제거하는 방식을 반복하여 고진공에 도달할 수 있다.

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80K 로 유지되는 배플에서 먼저 대부분의 수분이, 20K의 냉각판에서는 아르곤, 질소, 산소 등이 얼음의 형태로 흡착된다.

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활성탄에서는 수소나 헬륨 처럼 가볍고 매우 빠른 기체들이 van der Waal’s 힘으로 흡착된다.

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반도체 디스플레이 핵심 공정 장비는 대부분 고진공 환경을 필수로 한다.

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크라이오펌프는 대표적인 고진공 펌프 종류 중 하나로써, E-7Pa (10-9Torr) 이하의 진공상태를 만들 수 있다.

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특히, 반도체 Implanter 장비와 Sputtering 장비 그리고 OLED 디스플레이 유기물 증착 및 물류장비 등에 필수적으로 사용되고 있다.

Vacuum Pump & Cryo Industry

Bio

Enviroment

Vacuum Coating

Space

Energy

Semiconductor

Nuclear Fusion

Flexible Display