수분(H2O)을 집중 배기하여 Chamber내 요구 진공 도달 소요시간을 단축시키는 수분배기 전용 Water trap입니다.

• 형태에 따라 Inline / Plate / Regen.Type Cold Trap 및 CWP(Cryogenic Water Pump) 생산
• TMP의 약점을 보완한 ‘복합 펌프’ 운용가능
• 사용가능한 압력범위가 넓고, 다양한 형태로 환경에 따라 맞춤형 설계 제공.